1t 압력의 메커니즘과 스퍼터 이온펌프의 최적화에 관한 연구
In Search of the Origin of 1/t Pressure and Optimum Cell Geometry for a Sputter Ion Pump
- 발행기관 포항공과대학교
- 발행년도 2009
- 학위수여년월 2009. 8
- 학위명 박사
- 학과 및 전공 물리학과
- 실제URI http://www.dcollection.net/handler/postech/000001909756
- 본문언어 한국어