RF-스퍼터링 기법으로 제작한 Fe3O4 박막에 Ta 기저층이 미치는 효과
Ta Buffer Layer Effect on the Growth of Fe3O4 Thin Films Prepared by RF-sputtering
- 주제(키워드) Fe3O4 박막 , RF 스퍼터링 , Ta 기저층 , Fe3O4 thin film , RF-sputtering , Ta buffer layer
- 주제(기타) 물리학
- 설명문(URI) http://www.kci.go.kr/kciportal/ci/sereArticleSearch/ciSereArtiView.kci?sereArticleSearchBean.artiId=ART001985178
- 등재 KCI등재
- 발행기관 한국자기학회
- 발행년도 2015
- 총서유형 Journal
- URI http://www.dcollection.net/handler/ewha/000000124563
- 본문언어 한국어
